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芯源简介

 

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       沈阳芯源微电子装备股份有限公司成立于2002年,是由中科院沈阳自动化研究所倡议创立的国度高新技术企业,专业处置半导体消费装备的研发、消费、贩卖与服务,致力于为客户供给半导体配备与工艺团体解决方案。
       芯源公司坐落在沈阳市浑南高新技术财产开发区,公司占地2万平米,设置了专业的集成电路工艺开辟和检测实验室以及半导体设备消费组装车间。芯源公司在引进手艺基础上消化吸收、立异提高,构成自主知识产权系统,已具有300余项专利,此中发明专利272项,沈阳芯源公司作为海内抢先的高端半导体配备制造企业,所开辟的涂胶机(Coater)、显影机(Developer)、喷胶机(Spray)、去胶机(Scrubber)、湿法刻蚀机(Wet Etching)、单片洗濯机(Single wafer cleaner)等产物,已构成完好的手艺系统和丰硕的产物系列,可按照用户的工艺要求量身定制。产物顺应差别工艺品级的客户要求,普遍应用于半导体消费、先辈封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等范畴。可满意300mm前道制程及300mm先辈封装厚胶工艺制程。
       公司总部位于沈阳,在上海、foshan、姑苏设有办事处,成立了快速呼应的贩卖和技术服务团队。芯源产物已销往海内外内近百家客户。
       沈阳芯源持续负担国度科技严重专项《极大范围集成电路制造配备及成套工艺》项目,依托国度严重专项的撑持,芯源将加快提拔企业的立异才能和产物成套才能,以先辈可靠的产物和优质服务博得客户信任,为客户供给一流的半导体设备,成为全球半导体设备抢先企业,助推财产技术进步。
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